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1. 凸型门设计：断热效果较好、重量轻、耐压能力强，且搭配门齿安全有保障
2. 每个腔体皆经过压力容器协会认证，并有独立合格证
3. 循环马达，本身散热设计，不需额外水路冷却进到腔体，没有漏水风险
4. 特殊废气收集过滤系统，有效抑止炉内沉积污染，可延长设备使用寿命
5. 腔体超压防护设计，三段独立控压排气、自动压力开关防护与机械安全阀防护
6. 温度范围 RT~200 / 300 / 400℃
7. 2个腔体可设定不同制程条件，同时运作
8. 配方与各功能参数汇集上传，符合半导体SECS/GEM与EAP作业要求
9. 可选配真空系统，加强去除大气泡的能力
10. 可选配ASME认证
